Журнал Современные проблемы науки и образования 2070-7428 Общество с ограниченной ответственностью "Издательский Дом "Академия Естествознания" ART-5302 ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ ТЕЧЕИСКАТЕЛЯ НА ХАРАКТЕР ИЗМЕНЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ ПРОБНОГО ГАЗА В МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОМ АНАЛИЗАТОРЕ Мясников В.М. Myasnikov V.M. sekretar@dfngtu.nnov.ru Виноградов С.В. Vinogradov S.V. sekretar@dfngtu.nnov.ru Лобаев А.Н. Lobaev A.N. sekretar@dfngtu.nnov.ru Тараненко Е.В. Taranenko E.V. sekretar@dfngtu.nnov.ru Дзержинский политехнический институт Нижегородского государственного технического университета им. Р. Е. Алексеева Dzerzhinsky Polytechnic Institute of R. Y. Alekseev Nizhny Novgorod State Technical University 17 01 2012 1 153 153 This is an open-access article distributed under the terms of the CC BY 4.0 license. https://science-education.ru/ru/article/view?id=5302

При использовании баланса потоков пробного газа, поступающего в вакуумную систему масс-спектрометрического течеискателя, и потока, образованного в результате откачки форвакуумным насосом, получена математическая модель, описывающая процесс массопереноса пробного газа в вакуумной системе течеискателя. Установлены зависимости изменения давления пробного газа в анализаторе масс-спектрометрического течеискателя для схем прямотока и противотока. В вакуумной системе течеискателя используется турбомолекулярный насос с изменяющейся частотой вращения ротора. Найдена возможность оперативного определения прямой и обратной проводимости турбомолекулярного насоса и быстроты действия форвакуумного насоса по характеристикам переходных процессов, описывающих изменение парциального давления в анализаторе, используя схемы подачи анализируемой пробы в режиме прямотока и противотока в вакуумную систему масс-спектрометрического течеискателя.

Using the balance of trial gas streams arriving at the vacuum system of mass spectrometer leak detector and a stream formed as a result of roll-out by a fore-pump a mathematical model describing the process of mass transfer of trial gas in vacuum system of leak detector is received. Dependence of change in trial gas pressure in the analyzer of mass spectrometer leak detector has been defined for schemes of forward flow and backflow. A turbo-molecular pump with changing frequency of cylinder barrel rotation is used in vacuum system of leak detector. Possibility of operative definition of direct and return conductivity of a turbo-molecular pump and the speed of a fore-pump action are established under characteristics of the transients describing the change of partial pressure in the analyzer using the schemes of forward flow and backflow.

 течь масс-спектрометрический метод контроля герметичности прямая и обратная проводимость локализация течей пробный газ течеискатель leak mass-spectrometer method of tightness monitoring direct and return conductivity leaks localization trial gas leak detector

1. Беляев Л.А. О расчете параметров молекулярных турбонасосов // Вакуумная техника. Вып. 1. - Таткнигоиздат, 1968. - С. 56-72.

2. Беляев Л.А., Тузанкин Ю.М. Турбомолекулярные высоковакуумные насосы и агрегаты // Вакуумная техника. Вып. 2. - Таткнигоиздат, 1970. - С. 124-129.

3. Виноградов С.В., Мясников В.М., Сажин С.Г. Исследование масс-спектрометрической установки для локализации течей с противотоковой схемой подачи анализируемой пробы // Контроль и диагностика. - 2010. - № 5. - С. 35-39.

4. Любенец В.Д, Васильев В.И, Автономова И.В., Беляев Л.А. Механические вакуумные насосы. - М.: Машиностроение, 1980. - 52 с.

5. Мясников В.М., Фадеев М.А., Сажин С.Г., Юрченко А.И. Способ определения динамической характеристики вакуумной измерительной системы при контроле герметичности изделий и установка для его реализации // В.М. Мясников. М.А. Фадеев, С.Г. Сажин, А.И. Юрченко.- А.с. № 934268. Заявлено 21.10.80; Опубл. 07.06.82., Бюлл. изобр. № 21.

6. Неразрушающий контроль: справочник: В 8 т. // Под ред. В.В. Клюева. 2-е изд., испр. Т. 2. М.: Машиностроение, 2006. - 688 с.