Благодаря высокой механической и химической стабильности нового вида тонкопленочных материалов - алмазоподобных кремний-углеродных пленок, их применение в создании усилительных приборов таких, как триод, генераторы (как клистроны), рентгеновские трубки и электронные пушки для сканирующих электронных микроскопов является перспективным. В данной работе приведены результаты исследования вакуумного эмиссионного триода, использующего в качестве катода алмазоподобную кремний-углеродную пленку, легированную титаном. Изготовленные с использованием технологий магнетронного напыления и фотолитографии, элементы конструкции триода задают нужную геометрию и зазоры между электродами. При приложении напряжений к электродам возникают условия достаточные для автоэлектронной эмиссии. В результате измерений были получены зависимости анодного тока от напряжения на управляющем электроде. В ходе экспериментов было обнаружено изменения на поверхности алмазоподобной кремний-углеродной плёнки. На основе приведенных результатов делается вывод о перспективности использования алмазоподобных кремний-углеродных пленок в качестве автоэмиссионных эмиттеров для триодов и иных применений в высокочастотной электронике.

Due to high mechanical and chemical stability of the new kind of diamond-like nanocomposite silicon-carbon thin films, their application have perspectives in making high-frequency electronics such as, triodes, amplifiers (klystron), x-ray tubes and electron guns for scanning electron microscopes. This paper presents the results of the research of the vacuum field emission triode using as cathode Ti doped diamond-like nanocomposite silicon-carbon thin film. Made with using magnetron sputtering and photolithography methods, triode structure elements determine required geometry and electrode gaps. Applying voltage to electrodes provides sufficient conditions for field emission. Measurements have shown that volt–ampere characteristics depend on the gate voltage. During the experiments, were detected changes on the surface of diamond-like nanocomposite silicon-carbon thin films. Based on obtained results, authors concluded about the prospects of using diamond-like nanocomposite silicon-carbon thin films in field emission emitters for triodes and for other applications in high-frequency electronics.