Исследования полевой эмиссии электронов углеродными и алмазоподобными плёнками, также фуллеренами и нанотрубками вызывают в настоящее время повышенный интерес. Низковольтные холодные катоды с малым порогом по напряжению на основе таких структур найдут широкое применение в электровакуумных приборах различного типа. Однако низкая воспроизводимость традиционных структур при выполнении технологических процессов, и, как следствие, нестабильность их автоэлектронной эмиссии, требуют изучения большого разнообразия алмазоподобных плёнок. В научной литературе практически отсутствуют данные об эмиссионных свойствах легированных металлом алмазоподобных кремний-углеродных плёнках. В данной работе приводятся результаты исследования автоэмиссионных свойств алмазоподобных кремний-углеродных плёнок для пяти легирующих металлов Ti, Zr, Hf, Nb, Ta. Особое внимание обращено на получение стабильности вольтамперной характеристики при многократных повторных измерениях. В большинстве измерений, ток характеризующий эмиссию аппроксимируется линией в координатах Фаулера–Нордгейма.

Of great interest one have in investigation field electrons emission by carbon and diamond-like thin film, fullerene and nanotubes. The cold cathodes with low electric field threshold emission have been attracted more and more attentions for its important applications in vacuum electronic devices. However, the present cold cathodes do not have so good performance, stability emission that it can be considered as commercial application on large scale. All of that need to be considered large number of different kind diamond-like film. Difficult to find any data about the emission property of diamond-like nanocomposite silicon-carbon film. This article presents a result of measurement the electron emission for five metal-doped diamond-like nanocomposite silicon films Ti, Zr, Hf, Nb, Ta. The special attention is turned on the receipt of stability of сurrent–voltage characteristic at the frequent repeated measuring. In majority measuring, a current characterizing emission were approximately linear in Fowler-Nordheim coordinates.