Приведены результаты исследования поверхности карбида кремния после микроцарапания кобальта. Исследования состояния рельефа поверхности выполнены на электронном микроскопе Versa 3D. Показано, что микроцарапание сопровождается переносом кобальта на поверхность карбида кремния с образованием налипов различных размеров. Присутствуют достаточно большие налипы кобальта толщиной до 3 мкм, что установлено при съемке под углом. Методом ионного травления получены поперечные сечения налипов с основой. В слое налипа имеются пустоты различной длины вытянутые в горизонтальном направлении и достигающие 0,3 мкм. Зазор между налипом и карбидом кремния достигает 2 мкм. После стравливания налипшего металла установлено, что на площадке износа кристалла карбида кремния формируется развитая шероховатая поверхность. Характер изменения интенсивности пика линий кобальта и кремния на границе сплошного контакта свидетельствуют о возможности диффузионного взаимодействия между контактирующими материалами.
Results of research of a surface of carbide of silicon after a cobalt microscratching are given. Researches of a status of a relief of a surface are executed on an electron microscope of Versa 3D. It is shown that the microscratching is followed by transfer of cobalt on a silicon carbide surface with formation of stucks of different sizes. There are rather big stucks of cobalt up to 3 microns thick that is set when shooting at an angle. The method of the ion etching received transverse sections of stucks with a basis. In a layer of a stuck there are emptiness of different length of 0,3 microns which are drawn out in the horizontal direction and reaching. The gap between stuck and carbide of silicon reaches 2 microns. After etching away of the stuck metal it is set that on a site of wear of a crystal of carbide of silicon the extended rough surface is created. Nature of change of intensity of a pica of lines of a cobalt and silicon on boundary of continuous contact testify to possibility of diffusion interaction between the contacting materials.
1. Носенко В.А. Влияние контактного взаимодействия на износ абразивного инструмента при шлифовании / В.А. Носенко // Проблемы машиностроения и надежности машин. – 2005. – №1. – C. 73–77.
2. Носенко В.А. Влияние энергии активации на перенос кремния при шлифовании титанового сплава кругом из карбида кремния / В.А. Носенко, Г.И. Саютин // Трение и износ. – 1994. – Т. 15, № 4. – C. 713–715.
3. Носенко В.А. К вопросу об интенсивности контактного взаимодействия d-переходных металлов с карбидом кремния при шлифовании / В.А. Носенко // Проблемы машиностроения и надёжности машин. – 2002. – № 5. – C. 78–84.
4. Носенко В.А. Критерий интенсивности взаимодействия обрабатываемого и абразивного материалов при шлифовании / В.А. Носенко // Проблемы машиностроения и надёжности машин. – 2001. – № 5. – C. 85–91.
5. Носенко В.А. Морфология поверхности корунда после микроцарапания титанового сплава / В.А. Носенко, С.В. Носенко, А.В. Авилов, В.И. Бахмат // Машиностроение: сетевой электронный научный журнал. – 2014. – № 3. – С. 66–71. – Режим доступа: http://indust-engineering.ru/issues/2014/2014-3-11.pdf.
6. Носенко В.А. Технология шлифования металлов : монография / В.А. Носенко, С.В. Носенко. – Старый Оскол: ТНТ, 2013. – 613 с.
7. Носенко, В.А. Шлифование адгезионно-активных металлов : монография / В.А. Носенко. – М. : Машиностроение, 2000. – 262 с.
8. Носенко С.В. Влияние правки абразивного инструмента на состояние рельефа обработанной поверхности титанового сплава при встречном глубинном шлифовании / С.В. Носенко, В.А. Носенко, Л.Л. Кременецкий // Вестник машиностроения. – 2014. – № 7. – C. 64–68.
9. Саютин Г.И. Шлифование деталей из сплавов на основе титана : монография / Г.И. Саютин, В.А. Носенко. – М. : Машиностроение, 1987. – 80 с.
10. 10 Свойства элементов: Справочник / Под ред. М. Е. Дрица. – М. : Металлургия, 1985. – 672 с.