Показана принципиальная возможность осаждения меди лазерно-индуцированным методом на керамические и стеклокерамические поверхности из геля, состоящего из компонентов, использующихся для целей химического и электрохимического меднения. Это существенно расширяет сферу возможного применения метода ЛОМР и открывает возможность формирования многослойных проводящих медных структур повышенной миниатюрности и точности для элементов микроэлектроники. Исследовано влияние материала диэлектрической подложки на результат лазерно-индуцированного осаждения меди в конденсированных средах. Разработана методика приготовления тонких пленок на поверхности диэлектрика. Проведена оптимизация состава раствора для получения тонкой пленки осадка, используемого для целей лазерно-индуцированного осаждения. Предложена градиентная модель температурного воздействия лазерного излучения на процесс лазерно-индуцированного осаждения меди из конденсированных фаз и автокаталитических растворов.
The principal possibility of depositing copper laser-induced method for ceramic and glass-ceramic surface of the gel, which consists of the components used for the purposes of chemical and electrochemical copper plating. This significantly expands the scope of possible applications of the method and opens the possibility of forming a conductive copper multilayer structures for microelectronic components The influence of the dielectric substrate material on the result of laser-induced deposition of copper in condensed media. The optimization of the composition of the solution to form a thin film precipitate used for laser-induced deposition.Temperature gradient model proposed by influence of laser irradiation on the process of laser-induced deposition of copper from the condensed phases and autocatalytic solutions.
1. Тверьянович Ю.С., Кочемировский В.А., Маньшина А.А., Поволоцкий А.В., Поволоцкая А.В., Сафонов С.В., Тумкин И.И.. «Лазерно-индуцированное осаждение золота и меди из растворов»: моногр. – СПб.: ЛГУ им. А.С.Пушкина, 2010. – 132 с.;
2. Kochemirovsky V. A., Menchikov L. G., Safonov S. V., Bal'makov M. D., Tumkin I. I., Tver'yanovich Yu. S., Laser-induced chemical liquid phase deposition of metals: chemical reactions in solution and activation of dielectric surfaces // Russian Chemical Reviews. 2011. 80(9). P. 869-882;
3. Kochemirovsky V. A., Safonov S. V., Tumkin I. I., Tver´yanovich Yu. S., Balova I. A., and Menchikov L. G. Optimization of the solution composition for laser-induced chemical liquid phase deposition of copper // Russian Chemical Bulletin. 2011. 60(8). P. 1564—1570;
4. Kochemirovsky V. A., Menchikov L.G., Tumkin I.I., Logunov L.S., Safonov S.V. Laser-induced chemical liquid phase deposition of copper from aqueous solutions without reducing agents // Quantum Electronics. 2012. 42(8). P. 693-695.
5. Kochemirovsky V. A., Logunov L.S., Safonov S.V., Tumkin I.I., Tver’yanovich Yu. S., Menchikov L.G. Sorbitol as an efficient reducing agent for laser-induced copper deposition // Applied Surface Science. 2012. 259. P. 55-58;
6. Manshina A.A., Povolotsky A.V., Ivanova T.U., Tver’yanovich Y.S., Tunik S.P., Kim D., Kim M., Kwon S.C. Effect of salt precursor on laser-assisted deposition // Appl. Phys. A. 2007. 89. P. 755-759;
7. Tver’yanovich Y.S., Kuzmin A.G., Menchikov L.G., Kochemirovsky V. A., Safonov S.V., Tumkin I.I., Povolotsky A.V., Manshina A.A. Composition of the gas phase formed upon laser-induced copper deposition from solutions // Mendeleev Communications. 2011. 21. P. 34-35.